類型 | 薄膜測厚儀 | 品牌 | OTSUKA |
型號 | FE-5000S | 測量范圍 | 0.1nm ~ 1000nm(mm) |
400波長以上的多頻分光法,量測出橢圓偏光光譜。
自由變換反射量測角度,可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。反射角度自動可變的量測方式,對薄膜量測有更高的分析。搭載有薄膜解析所需的全角度同時(shí)量測功能。量測晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:屈折率,k:衰減係數(shù))。
橢圓偏光儀 FE-5000反射式膜厚量測儀 FE-3000
膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series
膜厚分析儀FE-300