URE-2000系列單面紫外光刻機(jī)（曝光機(jī)）

型號(hào)：U2000/17

簡單介紹：光刻機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機(jī),

URE-2000/17型光刻機(jī)技術(shù)性能與配置 
該光刻機(jī)技術(shù)特征
1．光學(xué)系統(tǒng)：采用多點(diǎn)反射鏡聚光和實(shí)現(xiàn)均勻照明，反射鏡采用梯形反射鏡，國內(nèi)其他機(jī)型采用矩形反射鏡，URE-2000/17具有更高的能量收集效率（Ф100mm范圍內(nèi)功率密度大于6mW/cm2）和照明均勻性(Ф100mm范圍內(nèi)均勻性可達(dá)±4%，國內(nèi)同類一般低于±4%)。波長單一，光譜純凈。
2.照明光源汞燈:采用進(jìn)口直流高壓汞燈，光功率穩(wěn)定。
3．操作十分方便：
（1）抽拉式掩模，同一塊掩模多次曝，無須上下掩模。
（2）觸摸開關(guān)操作，手感好，參數(shù)設(shè)置方便。
（3）數(shù)字設(shè)定曝光時(shí)間，倒計(jì)時(shí)曝光，曝光量可控制。
4．工藝適應(yīng)性非常好，可適應(yīng)的片子范圍可達(dá)f10-f100mm的各種規(guī)則和不規(guī)則片,厚度可適應(yīng)0.1mm—8mm。
掩?？蛇m應(yīng)2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸。這些所需的樣片臺(tái)和掩模吸盤均提供。國內(nèi)同類大部分的樣片臺(tái)和掩模吸盤要么不能提供，要么收費(fèi)提供。
5.對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程，既保證大視場(chǎng)又保證高倍率（倍率可達(dá)700倍）并提供USB輸出；既滿足高對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)。國內(nèi)同類采用兩個(gè)簡易的單筒顯微鏡+CCD，不能目視，既不方便兩個(gè)視場(chǎng)觀測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在保證高倍率時(shí)不能保證大視場(chǎng)，保證大視場(chǎng)則不能保證高倍率。
6．   附件：真空泵配置無油干泵，既無污染，噪音也小。
7．外型：漂亮
（1）   計(jì)算機(jī)色套紅色，非常漂亮（是其它廠商無法比的）
（2） 80%以上零件采用防繡材料，其余材料采用表面處理方法。
（3）   人機(jī)操作十分舒適
（4）   氣管、電線：走暗線（國內(nèi)同類一般管線凌亂）
8.品牌優(yōu)勢(shì)，該光刻機(jī)型號(hào)占有市場(chǎng)份額，已經(jīng)出口過6臺(tái)，售后服務(wù)有保證。
二．主要技術(shù)參數(shù)l   曝光面積：Ф100mm；
1、分辨力：1.7mm（膠厚2mm的正膠）；
2、對(duì)準(zhǔn)：±1mm；
3、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm；
4、 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
5、樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；

   照明均勻性：±4%（Ф100mm范圍）；
6、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度；
7、汞燈功率：200W（直流）；
8、曝光波長：365nm；
9 曝光能量密度：6mW/cm；l   曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）。

應(yīng)用領(lǐng)域 
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器、生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示、聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、

碼盤刻劃等