型號/規(guī)格：UL3000 Fab 4015#$%^4016#$最小可檢漏率：<5x10-12 毫巴 升 /秒%^4017#$氦氣%^4018#$%^4019#$吸槍模式: 最小可檢漏率，<5x10E-8 毫巴 升 /秒%^4020#$吸槍模式反應(yīng)時間 ：< 1秒%^4021#$10 至 40 ° C%^4022#$1050*472*987mm%^4023#$132公斤%^4024#$
產(chǎn)品描述：UL3000 Fab 專為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專業(yè)要求而開發(fā)，如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測試。
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