ASM142特點(diǎn)說明

l  新型質(zhì)譜儀：

采用180度磁場(chǎng)偏移質(zhì)譜儀，裝配兩具獨(dú)立燈絲，可縮短待機(jī)時(shí)間，可使測(cè)漏儀可偵測(cè)到5.0E-12 mbar.l/s 之漏率

l  數(shù)字顯示板：

四種操作方式，加強(qiáng)使用的友善性；采用數(shù)字及刻度的方式表示漏率，減少誤讀機(jī)會(huì)；以聲響方式提醒使用者測(cè)漏情形。

采用高亮度LED數(shù)字顯示漏率,讀值容易且方便。

l  抽氣系統(tǒng)：

粗抽系統(tǒng)采用ALCATEL 旋片泵及高真空分子牽引泵組合而成，真空值可達(dá)10E-5 mbar)，抽氣速率可達(dá)10m³/h，在檢測(cè)口位置高真空分子牽引泵對(duì)氦氣的抽氣速率為1.3 l/s。

l  操作簡(jiǎn)單：

具有自動(dòng)歸零調(diào)整功能，可選擇漏率單位( mbar.l/s ; torr.l/s ; Pa.M3/s )，自動(dòng)選擇測(cè)漏模式(大漏-Gross mode或是微漏Normal mode)，可自動(dòng)計(jì)算分流效應(yīng)，清潔簡(jiǎn)潔的操作面板。

l  構(gòu)造堅(jiān)固：

采用低轉(zhuǎn)速(27000 rpm)，入口端壓力為10mbar，啟動(dòng)時(shí)間短，反應(yīng)時(shí)間快(<0.5 sec)，可使用在嚴(yán)厲的制程環(huán)境，并可在不關(guān)機(jī)的情況下移動(dòng)使用。

l  多樣化功能：

在任何測(cè)試模式的功能指示數(shù)值。

可以移動(dòng)使用。

有可外接的RS 232及模擬式I/O，可將量值輸出。

在遙控器上可操作自動(dòng)校正、自動(dòng)歸零和放大功能。

重量?jī)H56kg 為目前市面上同類型測(cè)漏儀中輕機(jī)型