TH510系列半導(dǎo)體CV特性分析儀技術(shù)解析與應(yīng)用
一、設(shè)備概述
TH510系列是專用于半導(dǎo)體器件?電容-電壓（C-V）特性測(cè)試?的高精度分析儀，具備多參數(shù)測(cè)量、高速掃描及多通道擴(kuò)展能力，適用于功率器件、集成電路等半導(dǎo)體元件的研發(fā)與質(zhì)量控制。
二、核心性能特點(diǎn)
?高效測(cè)試能力?
?雙CPU架構(gòu)?：LCR測(cè)試速度達(dá)0.56ms/次（1800次/秒），支持快速導(dǎo)通測(cè)試（Cont）。
?多參數(shù)同測(cè)?：可同步測(cè)量并顯示寄生參數(shù)（Ciss、Coss、Crss、Rg）。
?靈活配置?
?通道擴(kuò)展?：標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，支持雙芯片并行測(cè)試。
?測(cè)試模式?：點(diǎn)測(cè)、列表掃描（最多1001點(diǎn)）、圖形掃描（選件）。
?高精度與寬范圍?
?電壓范圍?：VGS（±40V）、VDS（200V/1500V/3000V可選）。
?頻率覆蓋?：1kHz-2MHz，分辨率達(dá)0.01%。
三、典型應(yīng)用場(chǎng)景
?器件測(cè)試?：MOSFET、IGBT、二極管等寄生電容及C-V特性分析。
?材料研究?：晶圓、液晶材料的介電常數(shù)與彈性常數(shù)測(cè)量。
?工藝優(yōu)化?：通過C-V曲線評(píng)估半導(dǎo)體摻雜濃度與界面態(tài)密度。
四、技術(shù)參數(shù)摘要
| ?項(xiàng)目? | ?規(guī)格? |
|---|---|
| 顯示系統(tǒng) | 10.1英寸觸摸屏（1280×800），Linux操作系統(tǒng) |
| 測(cè)量精度 | 0.1%（參考說明書），電容分辨率0.00001pF |
| 接口配置 | RS232/USB/LAN/HANDLER，支持分檔信號(hào)輸出 |
| 物理參數(shù) | 尺寸430×177×405mm，重量16kg，功耗≥130VA |
五、操作與擴(kuò)展功能
?校準(zhǔn)與分選?：支持開路/短路/負(fù)載校準(zhǔn)，10檔分選（Bin）及PASS/FAIL指示。
?數(shù)據(jù)管理?：內(nèi)部存儲(chǔ)100M，外接USB保存設(shè)定文件、圖形及記錄。
該設(shè)備以一體化設(shè)計(jì)（LCR+高壓源+通道切換）為核心，兼顧效率與精度，是半導(dǎo)體研發(fā)與生產(chǎn)的理想工具。
