- 原產(chǎn)地:國(guó)產(chǎn)
Lab2000 Auto系列是一種多功能鍍膜設(shè)備(熱蒸發(fā)/熱阻蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)可選),設(shè)計(jì)用于滿(mǎn)足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件,提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿(mǎn)足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要??蛇x擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室,也可以配置通用的前開(kāi)門(mén)式不銹鋼箱式腔室。腔室具有額外的高度與寬度,適用于安裝較多的工藝附件。
客戶(hù)可選擇的模塊化工藝附件,包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。