TESCAN CLARA 超高分辨場發(fā)射掃描電鏡

簡介：新型的 BrightBeam" 鏡筒配置了靜電-電磁復(fù)合透鏡，縱貫整個鏡筒內(nèi)部的加速器可以保證電子在整個鏡筒內(nèi)全程處于高能量，減少 Boersch效應(yīng)。這種設(shè)計(jì)顯著減小了像差，可以很好的提升低電壓下的分辨率。此外，加速管本身的屏蔽作用使得電子束不容易受到環(huán)境(雜散)磁場的影響。因此，無需施加樣品減速偏壓，即可實(shí)現(xiàn) 50 ev 的低著陸能量，并能獲得高質(zhì)量的圖片。掃描線圈和雙物鏡的相互配合設(shè)計(jì)，可以提供超大的視野范圍，對樣品的實(shí)時(shí)導(dǎo)航也變的輕松而便捷，進(jìn)而可以快速定位感興趣區(qū)域。

超高分辨場發(fā)射掃描電鏡主要特點(diǎn)：

1、獨(dú)特的鏡筒內(nèi)探測器設(shè)計(jì)可以根據(jù)能量和角度選擇不同的電子信號

超高分辨場發(fā)射掃描電鏡鏡筒內(nèi) BSE 探測器安裝的特殊位置使得它們可以同時(shí)采集不同出射角的背散射電子(BSE)。Axial BSE 探測器收集近軸高角 BSE信號，Multidetector 探測器則收集中角BSE信號，而這兩個信號是明顯不同的。通過AxialBSE 探測器我們可以抑制樣品的表面形貌引起的干擾，從而觀察到的材料成分襯度。相比之下，Multidetector探測器收集中角背散射電子，獲得既有成分襯度又有形貌襯度的圖像，凸顯出試樣的綜合襯度。Multidetector配有能量過濾器，可以實(shí)現(xiàn)二次電子信號和背散射電子信號的過濾，以便增強(qiáng)背散射電子的襯度。

2、電子?xùn)|敏感樣品和非導(dǎo)電樣品的理想選擇

完美的鏡筒和探測器系統(tǒng)的一體化設(shè)計(jì)，無需施加樣品減速偏壓，即可實(shí)現(xiàn)電子束 50ev 的低著陸能量，避免了樣品損傷和荷電效應(yīng)，并實(shí)現(xiàn)出色的成像性能，是觀察各種不導(dǎo)電樣品的理想選擇。

3、電子束的快速設(shè)置-實(shí)現(xiàn)的成像和分析條件

EquiPower?透鏡技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高效的散熱并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性，同時(shí)結(jié)合使用了實(shí)時(shí)電子束實(shí)時(shí)優(yōu)化技術(shù)，使 TESCAN CLARA 能夠在全部束流范圍下獲得優(yōu)異的高分辨率圖像和(EDS/EBSD)分析能力。

4、無漏磁超高分辨透鏡，低電壓下實(shí)現(xiàn)材料表面形貌細(xì)節(jié)的高靈敏表征

BrightBeam? 鏡筒實(shí)現(xiàn)無漏磁超高分辨率成像能力，對包括磁性樣品在內(nèi)的各類樣品具有廣泛的適用能力。

超高分辨場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用：

1、納米級金屬樣品的常規(guī)研究和工業(yè)檢驗(yàn)

樣品的常規(guī)檢測通常是質(zhì)量控制過程的重要部分也是生產(chǎn)和優(yōu)化生產(chǎn)過程的關(guān)鍵。因而，使用掃描電子顯微鏡進(jìn)行材料研究或樣品檢查是世界上許多公司或研究機(jī)構(gòu)的常見做法。CLARA 的 BrightBeam" 技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)檢測多種信號，從而更具體、詳細(xì)的揭示樣品所包含的信息。對于化學(xué)或物相角度分析需求，TESCAN CLARA 配置的 BrightBeam… 鏡筒和無漏磁靜電-電磁復(fù)合透鏡，支持在更大范圍的束流下對任意樣品進(jìn)行高空間分辨的EDS和EBSD 分析。

2、納米粒子和各種團(tuán)聚體的常規(guī)成像

對于世界各地科研領(lǐng)域的研究實(shí)驗(yàn)室以及質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室的研究人員而言，處理和分析顆粒狀的材料是項(xiàng)日常工作。顆粒是工業(yè)領(lǐng)域中許多工藝的前驅(qū)體材料。我們通常需要使用超高分辨掃描電鏡(UHRSEM)進(jìn)行檢測、表征超細(xì)的納米級顆粒。TESCAN CLARA能夠在低電壓下對這種納米粒子進(jìn)行成像，揭示出在較高加速電壓下不可見的特征。

3、電子?xùn)|敏感和不導(dǎo)電材料的分析

使用超高分辨場發(fā)射掃描電鏡對電子束敏感和不導(dǎo)電樣品成像往往是件非常具有挑戰(zhàn)性的工作，經(jīng)常會需要采用特殊的辦法才能在避免樣品損傷和荷電效應(yīng)。其中一個解決方案是，在低電壓下觀察以減少電子束對樣品的損傷以及荷電效應(yīng)。TESCANCLARA的 BrightBeam"系統(tǒng)配置的創(chuàng)新的電子光學(xué)鏡筒和強(qiáng)大的多款探測器非常適用于這類應(yīng)用。它可以根據(jù)每個樣品的需要來調(diào)整束流，在獲得超高分辨成像的同時(shí)也可以保證樣品不會受到損傷，而且也不會因?yàn)楹呻姮F(xiàn)象而導(dǎo)致圖像或?qū)Ρ榷仁д妗?/p>