GKG-G9項目基板處理基板尺寸(XY) 450X340mm最小基板尺寸5050mm基板厚度尺寸0.4~6mm基板重量3kg基板邊緣間隙2.5mm過板高度15mm傳輸高度90040mm傳送速度分段控制,速度1500mm/s(Max)傳輸方式一段式傳輸導(dǎo)軌基板夾持自動伸縮式上壓片、柔性夾邊、真空吸附功能.
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GKG-G9項目基板處理基板尺寸(XY) 450X340mm最小基板尺寸5050mm基板厚度尺寸0.4~6mm基板重量3kg基板邊緣間隙2.5mm過板高度15mm傳輸高度90040mm傳送速度分段控制,速度1500mm/s(Max)傳輸方式一段式傳輸導(dǎo)軌基板夾持自動伸縮式上壓片、柔性夾邊、真空吸附功能.