用途：

(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具

(3)可直接用于同一量級物體長度的比對測量

(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺復(fù)位檢驗(yàn)

標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀、規(guī)格和包裝：

S1000微米一亞微米級系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回”字形的方框，最外框邊長約為2mm,內(nèi)框的邊長約為12mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20um的短平行線條，4個象限上分別是線距為40um、20um10um的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5um的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50um,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5um的平行線條，小框里面是線距為1um或05um的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5m和1um或05um的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn)，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40um、20μm和10um的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計成方格形，是為了在對放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時，可以對圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn)，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進(jìn)行放大倍的準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。

標(biāo)準(zhǔn)樣品的穩(wěn)定性：

標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行觀察時，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進(jìn)行多次長時間的觀察后，未見標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。