KLA探針式表面輪廓儀P-7

表面輪廓儀簡介：

KLA是全球半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、MEMS、太陽能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著極高的市占率。P-7是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。P-7建立在市場領(lǐng)先的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的卓越測量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了極高的性價(jià)比。P-7可以對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。

輪廓儀的主要應(yīng)用

薄膜/厚膜臺(tái)階                蝕刻深度量測

光阻/光刻膠臺(tái)階               柔性薄膜

表面粗糙度/平整度表征       薄膜的2D stress量測

表面結(jié)構(gòu)分析                表面的3D輪廓成像

缺陷表征和缺陷分析          其他多種表面分析功能

表面曲率和輪廓分析

輪廓儀的主要功能

1、臺(tái)階高度:幾納米至1000um

2、微力恒力控制:0.03至50mg

3、樣品全直徑掃描，無需圖像拼接。

4、視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差。

5、生產(chǎn)能力:通過測序模式識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。

產(chǎn)品特性及擴(kuò)展選項(xiàng)

P-7探針式臺(tái)階儀凝聚了KLA在量測領(lǐng)域的大量經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)優(yōu)勢并具有豐富的擴(kuò)展選項(xiàng)。

探針掃描：掃描載臺(tái)具有150mm的掃描范圍以及1mm的掃描高度范圍，從而保證質(zhì)量的2D和3D掃描數(shù)據(jù)。

臺(tái)階重復(fù)性：在1微米階高的重復(fù)性為0.4納米。這歸因于極低噪音電子元件亞埃分辨率的電容式傳感器，以及超高平整度的平晶基座。

Apex軟件：Apex分析軟件通過提供調(diào)平、濾鏡、臺(tái)階高度、粗糙度和表面形貌分析技術(shù)的擴(kuò)展套件，增強(qiáng)了P-7的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)分析能力。Apex支持ISO粗糙度計(jì)算方法以及如ASME之類的本地標(biāo)準(zhǔn)。Apex還可用作報(bào)告編寫平臺(tái)，具有添加文本、注釋和是/否合格的準(zhǔn)則Apex提供 八種語言的版本。

自動(dòng)化測量：自動(dòng)化測量包括圖案識(shí)別、1000個(gè)量測序列點(diǎn)和序列隊(duì)列功能可以極大提高產(chǎn)量。圖案識(shí)別與高級(jí)校準(zhǔn)相結(jié)合，可減少平臺(tái)定位誤差，并實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)間配方的無縫傳輸。自動(dòng)化測量與特征檢測特征發(fā)現(xiàn)、Apex軟件充分集成后可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化收集和報(bào)告數(shù)據(jù)的功能。

3D成像：通過3D掃描可以得到表面的三維成像，呈現(xiàn)出彩色三維圖像或自上而下的等高線圖像?？梢詮闹刑崛〗孛?線中的三維或二維數(shù)據(jù)。

應(yīng)力分析：能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并測量樣品翹曲，然后通過應(yīng)用Stoney方程來計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)150mm的樣品上通過單次掃描測量，無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測量采用多個(gè)2D掃描，并結(jié)合0平臺(tái)在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個(gè)樣品表面進(jìn)行測量。

離線分析軟件：離線軟件可以創(chuàng)建掃描和序列配方，以及分析Profiler或Apex數(shù)據(jù)。