Film sense薄膜厚度橢偏儀

Film Sense 多波長(zhǎng)橢偏儀通過簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量，可以以極高的精度和精度測(cè)定大多數(shù)透明薄膜的薄膜和折射率并對(duì)許多樣品進(jìn)行光學(xué)常數(shù) n&k 等薄膜性質(zhì)的測(cè)量。多波長(zhǎng)橢偏儀提供了強(qiáng)大的薄膜測(cè)量功能售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。Film Sense 偏儀非常適合在研究實(shí)驗(yàn)室教室，現(xiàn)場(chǎng)處理室，工業(yè)質(zhì)量控制等等。

薄膜橢偏儀主要特點(diǎn):

1、多個(gè)LED 光源(4或6，波長(zhǎng)280-950nm，視系統(tǒng)而定)。

2、一體化設(shè)計(jì)，薄膜厚度橢偏儀探測(cè)器中無可移動(dòng)部件。

3、具有良好的精度，對(duì)多個(gè)樣品的厚度優(yōu)于 0.001 nm(1 秒鐘，甚至對(duì)于亞單層膜的hd也優(yōu)于0.001 nm。

4、可通過現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本電腦或平板電腦 Web 瀏覽器界面直接訪訪問軟件頁(yè)面，用于儀器控制和數(shù)據(jù)分析。

橢偏儀的優(yōu)勢(shì)

1、壽命長(zhǎng)(>50,000小時(shí))，沒有耗時(shí)的對(duì)準(zhǔn)或PM程序

2、快速測(cè)量時(shí)間(10ms內(nèi)的多波長(zhǎng)數(shù)據(jù))和長(zhǎng)期可靠性

3、只有橢偏儀才有的測(cè)量精度

4、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)

如：

Film Sense 薄膜橢偏儀在測(cè)量透明單層薄膜的hd和折射率方面表現(xiàn)出色。上限厚度取決于橢偏儀系統(tǒng)(通常為 2-5 微米)， 但也取決于基底和薄膜的光學(xué)常數(shù)。與任何偏儀系統(tǒng)一樣， 為了獲得準(zhǔn)確的折射率測(cè)量結(jié)果，需要有最小薄膜(通常為 10 納米)。

光吸收薄膜也可以被測(cè)量，但數(shù)據(jù)分析變得更加復(fù)雜，因?yàn)樾枰∧さ墓鈱W(xué)常數(shù)(折射率 n 和消光系數(shù)K值)。Film Sense 軟件包含了多種確定n 和值的方法:1)多樣品分析，2)聯(lián)合偏儀+透測(cè)量，和3)色散模型。對(duì)于吸收薄膜，上限厚度強(qiáng)烈依賴于材料的類型 ， 對(duì)于金屬薄膜，上限通常為50納米。

多波長(zhǎng)偏儀還可以用于測(cè)量多層膜堆疊 (在某些情況下可達(dá) 5層)，這取決于各層的厚度和折射率?？梢栽?Film Sense 軟件中進(jìn)行模擬，以確定特定樣品結(jié)構(gòu)是否可行。對(duì)于某些樣品，還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。

特點(diǎn)和規(guī)格

測(cè)量范圍為0- 5um 的大多數(shù)透明薄膜

典型的重復(fù)性: 0.015 nm

集成聚焦探頭，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸: 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)

電動(dòng)Z型載物臺(tái)用于樣品自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)

靈活的掃描模式編輯器

測(cè)量參數(shù)的等高線圖和3D圖。

具有6個(gè)波長(zhǎng)的橢圓測(cè)量數(shù)據(jù) (405、450、525、660、850、950納米)采用長(zhǎng)壽命 LED 光源，無移動(dòng)部件的探測(cè)器