產(chǎn)品描述

電容薄膜規(guī)是一種膜片受到壓力后產(chǎn)生形變的引起電容變化并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的傳感器，信號(hào)的強(qiáng)弱由受到的壓力大小決定。

KY系列是基于電容式測(cè)量單元開(kāi)發(fā)的一款數(shù)字智能絕dui壓力變送器。測(cè)量單元由純度大于99.9%的陶瓷膜片構(gòu)成，具有不區(qū)分氣體種類(lèi)，高精度、無(wú)遲滯等優(yōu)點(diǎn)。該系列產(chǎn)品全程采用先進(jìn)的數(shù)字處理技術(shù)，大大提高了傳感器測(cè)量精度，和智能化程度，可以直接以數(shù)字信號(hào)輸出壓力值、溫度值，適應(yīng)過(guò)程控制的數(shù)字化趨勢(shì)。

數(shù)字電路還可以提供傳感器噪聲抑制功能并提高了EMC兼容性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償精度。同時(shí)考慮到客戶傳統(tǒng)電容薄膜規(guī)的使用習(xí)慣，本產(chǎn)品保留了傳統(tǒng)模擬信號(hào)輸出功能，可以無(wú)縫替換所有傳統(tǒng)型號(hào)電容薄膜規(guī)。

產(chǎn)品應(yīng)用

■ 高要求的應(yīng)用條件下，精準(zhǔn)而快速的壓強(qiáng)測(cè)量
■ 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ 半導(dǎo)體，光學(xué)，航空航天和化學(xué)制造
■ 冷凍，干燥制造設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn)

測(cè)量全程數(shù)字化，量程在范圍內(nèi)任意遷移
■ 數(shù)字通訊，避免二次儀表誤差，簡(jiǎn)化控制設(shè)備
■ 強(qiáng)大的抗過(guò)載能力
■ 快速的響應(yīng)時(shí)間
■ 超過(guò)對(duì)外發(fā)布指標(biāo)規(guī)格
■ 高精度，高穩(wěn)定性
■ 超寬補(bǔ)償溫度范圍:-20~+80℃
■ 模擬信號(hào)任意遷移
■ 量程范圍:10%-100%
■ 替代傳統(tǒng)模擬信號(hào)電容薄膜規(guī)
■ 快速開(kāi)機(jī)預(yù)熱時(shí)間5s
■ 壓力誤差:2.0%。，電壓誤差:1%。