Veratus讀數(shù)頭、Veratus光柵、Celera光柵、MicroE光柵
1、 分辨率1μm~20nm
2、 低的電子細(xì)分誤差(小于20nmRMS)
3、 讀數(shù)頭規(guī)格:10.2mm(高)x13.5mm(寬)x35mm(長(zhǎng));重量:15g
4、 模擬量輸出;A-quad-B數(shù)字信號(hào)輸出;報(bào)警信號(hào)
5、 速度可達(dá)5m/s
6、 柵距20μm
7、 線性:標(biāo)準(zhǔn)±3~±5μm;高±1μm
8、 重復(fù)性≦1L
9、 光刻位信號(hào)
10、 LED狀態(tài)指示燈用于傳感器對(duì)準(zhǔn)和位定位