1.臺式勻膠機(jī)旋涂儀產(chǎn)品簡介

WH-SC-01勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司開發(fā)完成，具有知識產(chǎn)權(quán)。

勻膠機(jī)快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；實(shí)現(xiàn)啟停可控，轉(zhuǎn)速實(shí)時觀察等功能。儀器配置“開關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)時，關(guān)上上蓋后，“開關(guān)”啟動，運(yùn)行過程中，上蓋不能打開。可以起到保護(hù)作用。

2.臺式勻膠機(jī)旋涂儀技術(shù)參數(shù)

2 轉(zhuǎn)速：300-4500RPM

2 時間控制：1--32767s

2 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%

2 膠的均勻性：±3%

2 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

2 適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠

2 電源輸入：AC220V±10V,50HZ

2 功率：60W

2 重量：13kg

2 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

2 工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80%

3.臺式勻膠機(jī)旋涂儀特征圖解

①撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)

4.臺式勻膠機(jī)旋涂儀操作說明

（1）選擇合適的吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤安裝時要到底。

（2）開啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁面?？煞謩e設(shè)置三個階段轉(zhuǎn)速和時間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時間，點(diǎn)擊“確定”。

（3）進(jìn)入啟動儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點(diǎn)擊“吸盤”后點(diǎn)“啟動”，儀器開始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時間可在顯示屏上實(shí)時觀察。

（4）滴膠，動作要快。在一階段運(yùn)轉(zhuǎn)時間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；間推移自動運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，開關(guān)啟動，須等到儀器停止運(yùn)行，上蓋才能被打開。

（5）電機(jī)停轉(zhuǎn)后，點(diǎn)擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。

（6）繼續(xù)勻膠時重復(fù)以上步驟。

（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。

5.臺式勻膠機(jī)旋涂儀維護(hù)清洗

屬下列情況之一時，需要對抽氣室進(jìn)行清洗

1.正常使用半個月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。

6.臺式勻膠機(jī)旋涂儀常見故障排除

下列故障非本機(jī)故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請及時撥打本公司服務(wù)熱線：0512-62525801，本公司將竭誠為廣大用戶服務(wù)。

臺式勻膠機(jī)旋涂儀注意事項(xiàng)

拆開包裝后，請按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請聯(lián)系銷售商。注意須將包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。

操作前請詳細(xì)閱讀本說明內(nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。

(1) 安置本儀器的桌（臺）面應(yīng)堅實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺）面平穩(wěn)接觸，否則會產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致標(biāo)準(zhǔn)的震動，致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。

(2) 儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非空間內(nèi)逗留，勻膠機(jī)周圍不得放置危險物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開機(jī)殼。嚴(yán)禁非人員維修，維修時須先拔下電源插頭，事故發(fā)生。

臺式勻膠機(jī)旋涂儀裝箱清單：

無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)，可以原汁原 味的回收氣體。

 無油真空泵技術(shù)參數(shù)：

 1）型號：AP-550V 

2）抽速：1.5 升/秒 

3）功率：320W 

4）噪音：58db 

5）電壓、頻率：~220V/50HZ 

6）lowest真空度：-700mmHg 

7）重量：5.8kg 

8）外形尺寸：240×130×200mm

注：清點(diǎn)包裝箱內(nèi)的附件和印刷資料，箱內(nèi)的附件和資料請按照裝箱清單對照檢查。