氣浮氣浮平移臺系列是經(jīng)過我們長期不懈努力推出的,高、剛度強(qiáng),已獲。國內(nèi)外水平
氣浮平移臺實(shí)現(xiàn)了設(shè)計(jì)定型,可以快速訂制,行程250mm(12寸)XY臺正在備現(xiàn)貨。
我公司的氣浮平移臺產(chǎn)品,一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法,分辨率200nm,等同于光柵。
也可提供雙頻激光反饋控制,穩(wěn)定可達(dá)20nm,有成功。
采取隔塵措施后,可應(yīng)用于高生產(chǎn)場合。
可提供長行程單軸工作臺。
也可采用音圈電機(jī)、高絲杠配合我們的5自由度氣浮聯(lián)軸器,驅(qū)動(dòng)工作臺。
平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺。