A. 技術(shù)參數(shù)

1. 分辨率： 15nm (30kV, SE Image)

         20nm (30kV, BSE Image)

1. 放大倍率：30x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

2. 加速電壓 :

5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

3. 圖像：

二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

4. Observation mode : Standard Mode

Charge-up reduction mode

5. 電子槍系統(tǒng):

燈絲類型：預(yù)對(duì)中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)：自動(dòng)偏壓方式

   電子槍校正：手動(dòng)方式

6. 透鏡構(gòu)成

i. 聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡

ii. 物鏡 : 1段式磁線圈透鏡

7. 探測(cè)器類型

E-T Detector

8. 載物臺(tái)系統(tǒng)：3軸操控

- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°

9. Image shift: X, Y Image Shift (100?)

10. 樣品尺寸 :

50mm in diameter, 20mm in height

11. 圖像掃描速度

1. 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2. 低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3. 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4. 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

12. 自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

13. 圖像存儲(chǔ)方式

   BMP, JPEG, PNG

14. 數(shù)據(jù)顯示

   放大倍率，探測(cè)器類型，電壓，真空模式，文本，標(biāo)尺等

15. 真空系統(tǒng)

   全自動(dòng)型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空時(shí)間：2分鐘以內(nèi)

16. 操控系統(tǒng)：鼠標(biāo)和鍵盤

17. 運(yùn)行系統(tǒng)：電鏡專用筆記本電腦

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TM i5 or High version

-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

18. 軟件：

-圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能

   -長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能

   -設(shè)置數(shù)值初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等

19. 體積：

   設(shè)備主機(jī)-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

20. 重量：90kg

21. 設(shè)備環(huán)境：

-溫度：15℃~30℃

-濕度：70% or less

-電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

B. 配件

1. 預(yù)對(duì)中鎢燈絲  : (5 pcs/box)

2. 載物臺(tái) 

i.  15mm dia. (10 pcs)

ii. 25mm dia. (10 pcs)

iii. 15mm 45° Tilt (5 pcs)

iv. 15mm 90° Tilt (5pcs)

3. 真空潤(rùn)滑油  1ea

4. 高度基準(zhǔn)模塊  1ea

5. 6角扳手  1set

6. 掃描電鏡軟件修復(fù)用CD  1ea

7. 銀膠(Silver Paste) 30g  1ea

8. 碳導(dǎo)電膠帶  1roll

9. 剪刀  1ea

10. 洗耳球 1ea

11. 鑷子  1ea

     12. 工具箱  1ea