原子力顯微鏡6800AFM

 一、主要功能特點(diǎn)

     硬件系統(tǒng)

1、光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；

2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；

3、精密激光檢測(cè)及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，操作方便；

4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域定位；

6、高大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7、高大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同和掃描范圍要求選擇；

8、帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域；

9、采用伺服馬達(dá)控制CCD自動(dòng)對(duì)焦功能；

10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；

11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

12、帶溫度顯示。

13、彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)

    軟件系統(tǒng)

1、可觀測(cè)樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像；

2、具備接觸、輕敲,可選配相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式；

3、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512；

4、多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；

5、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測(cè)量功能；

6、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；

7、可任意選擇樣品起始掃描角度；

8、激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；

9、針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能；

10、可任意定義掃描圖像的色板功能；

11、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；

12、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；

13、支持樣品圖片離線分析與處理功能。

二、主要技術(shù)指標(biāo)

1、工作模式：接觸、輕敲、可擴(kuò)展相位、摩擦力、磁力或靜電力

2、設(shè)備尺寸：490*480*700mm

3、樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm

4、掃描范圍：橫向50um，縱向5um

5、掃描分辨率：橫向0.2nm，縱向0.05nm

6、掃描速率：0.6Hz~4.34Hz

7、掃描角度：任意

8、樣品移動(dòng)范圍：0～50mm

9、馬達(dá)趨近脈沖寬度：10±2ms

10、光學(xué)放大倍數(shù)：10X

11、光學(xué)分辨率：1um

12、圖像采樣點(diǎn)：256×256，512×512

13、掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A

14、數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣

15、反饋方式：DSP數(shù)字反饋

16、反饋采樣速率：64.0KHz

17、計(jì)算機(jī)接口：USB2.0

18、運(yùn)行環(huán)境：運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)

    19、工作電壓：220V