負(fù)載 500kg
轉(zhuǎn)動(dòng) 10角秒
XY方向轉(zhuǎn)動(dòng)范圍 12度
Z方向轉(zhuǎn)動(dòng)范圍 15
移動(dòng) 2μm
XY移動(dòng)范圍 50mm
Z移動(dòng)范圍 80m
負(fù)載 500kg
轉(zhuǎn)動(dòng) 10角秒
XY方向轉(zhuǎn)動(dòng)范圍 12度
Z方向轉(zhuǎn)動(dòng)范圍 15
移動(dòng) 2μm
XY移動(dòng)范圍 50mm
Z移動(dòng)范圍 80m