一、H2O2氣測儀傳感器選型

二．SiH4傳感器結(jié)構(gòu)

三．模塊開發(fā)方案

模塊特色：

 1. 選用的電化學(xué)傳感器，使用壽命長；

2. 選用高的運(yùn)放和電源IC，性能穩(wěn)定，靈敏；

3、可以檢測低濃度或高濃度的有毒氣體；

4、產(chǎn)品設(shè)計干擾能力強(qiáng)、量程保護(hù)、反性保護(hù)和雷保護(hù)；

5、產(chǎn)品設(shè)計低功耗，網(wǎng)絡(luò)RS485輸出；

6、模塊傳感器的安裝方式：泵吸式、擴(kuò)散式、法蘭式、法蘭螺紋式；

主要參數(shù)指標(biāo)：

檢測原理：電化學(xué)原理

安裝方式：擴(kuò)散式、泵吸式、法蘭式、螺紋式

響應(yīng)時間：30 S～40 S（傳感器的響應(yīng)速度）

檢測：≤±3%FS（實際濃度，更高視具體傳感器而定）

重 復(fù) 性：≤±2%

性線誤差：≤±2%

點漂移：≤±2%（F.S/年）

工作溫度：－40～50℃

工作濕度：15-90%RH (無結(jié)露)

信號輸出：數(shù)字TTL信號輸出 、RS485輸出、4-20mA輸出

工作電壓：DC 12-36 V

五．傳感器應(yīng)用

   傳感器廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。
         現(xiàn)在電子氣體的使用越來越多，半導(dǎo)體的生產(chǎn)、LED的生產(chǎn)、晶體加工、精密加工等行業(yè)帶來很多麻煩，這些毒氣的檢測都離不開SIH4.

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六．傳感器圖片