工作臺(tái)金屬臺(tái)面（mm）

500*300

工作臺(tái)玻璃臺(tái)面（mm）

350*280

工作臺(tái)行程（mm）

300*200

儀器重量（kg）

168

外形尺寸（mm）

600（左右手輪距離）*825（前面板到后電控箱）*845（花崗石基座底部到保護(hù)鏈頂部）

Z軸行程（mm）

120

微3D量測(cè)高度（解析度）

1.5mm（0.01um）

微3D高度重復(fù)

0.1um

XYZ軸光學(xué)尺解析度

0.001mm（1um）

X / Y坐標(biāo)示值誤差

≤（3+L/75）μm    （L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm）

2D影像量測(cè)軟件

QMS3D-M 

3D影像量測(cè) / 分析軟件

MIcroScan3D / PostTopo

影像系統(tǒng)

高速單色CCD攝像機(jī)         像素：640*480

顯微鏡系統(tǒng)

三目頭                 目鏡：10倍         5孔物鏡轉(zhuǎn)換鏡

濾光片紅、藍(lán)、綠、白                   測(cè)量模式    反射、透射、偏光

照明系統(tǒng)

透射照明光源

白光 / 綠光LED，亮度可調(diào)

同軸照明光源

白光LED，亮度可調(diào)

物鏡

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距離（mm）

26.1

20.2

8.8

3.68

高度量測(cè)模塊（選配件）    

光干涉高度量測(cè)模塊（M10-CA），高度量測(cè)分辨力0.5μm（選配）

倍率：10X             

工作距離：5mm

光學(xué)分辨力：2μm