PT2K125-160S是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的掃描臺(tái),平臺(tái)內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),補(bǔ)償量小,了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)和的穩(wěn)定性。平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。中空式設(shè)計(jì),且通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。
應(yīng)用
◆ 光學(xué)捕獲
◆ 掃描顯微鏡
◆ 掩模與晶片對(duì)準(zhǔn)
◆ 掃描干涉儀
◆ 表面計(jì)量學(xué)
◆ 生物技術(shù)
◆ 微操作