主要技術(shù)指標(biāo)

1、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)

   1.1 旋轉(zhuǎn)：（0.04+6H/10000）μm

   1.2 旋轉(zhuǎn)速度： 4、6、8、10rpm

   1.3 工作臺(tái)直徑：180mm

   1.4 工件直徑：560mm

   1.5 測(cè)量直徑：280mm

   1.6 臺(tái)面承重：25kg

2、垂直軸（Z軸）

   2.1 垂直移動(dòng)：480mm 

   2.2 檢測(cè)高度（離旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)）：440mm

   2.3 檢測(cè)深度：100mm（小內(nèi)徑30mm）

   2.4 直線度（全范圍）：0.5μm/480mm

   2.6 與主軸平行度：2.5μm/480mm、

   2.7 立柱標(biāo)尺：光柵尺

3、水平臂（X軸）

   3.1 水平移動(dòng)：165mm

   3.2 突出量：25mm

   3.3 水平移動(dòng)方式：電動(dòng)

   3.4 接觸方式：自接觸

4、測(cè)針和側(cè)頭

   4.1 測(cè)量范圍：±300μm

   4.2 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針：紅寶石  Φ2

   4.3 測(cè)量方向：雙方向

   4.4 測(cè)針角度調(diào)整：±45°

5、圓周采樣

   5.1 采集器件：圓光珊

   5.2 圓周采樣點(diǎn)數(shù)：8192點(diǎn)

6、數(shù)據(jù)分析

   6.1 圓柱度功能：2-15個(gè)截面，3種評(píng)價(jià)方式

   6.2 圓柱度評(píng)估的參考基準(zhǔn)：LSCY  MZCY  MICY  MCCY  OSCY

   6.3 圓度評(píng)估參考圓：LSC  MZC  MIC  MCC

   6.4 直線度：垂直方向

   6.5 跳動(dòng)：徑向單跳動(dòng)，徑向全跳動(dòng)，軸向單跳動(dòng)

   6.6 同軸度：軸元素

   6.7 錐度：直徑變化在傳感器量程范圍內(nèi)

   6.8 其他功能：同心度、壁厚差、單截面平面度、平行度

   6.9 測(cè)量波段：1-15upr，1-50upr，1-150upr，1-500upr，15-150upr，15-500upr，50-500upr
   6.10 缺口測(cè)量：有

7、糾修功能

   7.1 立柱修正：有

   7.2 立柱青椒修正：有

   7.3 工件傾斜修正：有