商品描述:
中科科儀公司采用國際技術(shù),將掃描電鏡控制技術(shù)到一個嶄新的水平,多項自動化操作實現(xiàn)一鍵看像功能。配備高自動樣品臺,分子泵真空系統(tǒng),真正實現(xiàn)快速看像,使KYKY-EM6000成為一款操作簡便、穩(wěn)定的比的掃描電鏡。
項目 | EM6000 | EM6000Z | |
分辨率 | 4.5nm (30KV) | ||
放大倍數(shù) | 15x?250,000x | ||
電子類型 | 發(fā)叉式鎢絲陰 | ||
加速電壓 | 0?30KV | ||
透鏡系統(tǒng) | 三級電磁透鏡 | ||
物鏡光闌 | 三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||
樣品臺 | 手動 | X/Y軸自動 | |
行程 | X | 0?50mm (大樣品臺0?80mm) | |
Y | 0?50mm | ||
Z | 0?25mm (大樣品臺0?30mm) | ||
R | 360° | ||
T | -5°?90° (大樣品臺0°?90°) | ||
探測器 | 二次電子探測器,背散射電子探測器(可選),X-ray能譜儀(可選) | ||
真空系統(tǒng) | 分子泵 |