主要產(chǎn)品系列：一維直驅(qū)式、一維放大式、一維Z向式、一維小體積式、一維中空式、一維L式物鏡臺(tái)、一維U式物鏡臺(tái)、二維集成式、二維模塊式、三維集成式、三維模塊式、三維并聯(lián)式、六維并聯(lián)式。
  納米級(jí)精密定位工作臺(tái)以壓電陶瓷致動(dòng)器為驅(qū)動(dòng)元件，通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)進(jìn)行無間隙的微位移傳動(dòng)，運(yùn)動(dòng)范圍在幾十微米到幾百微米，運(yùn)動(dòng)分辨率和重復(fù)定位在納米級(jí)。主要應(yīng)用于精密進(jìn)給系統(tǒng)、精密位移補(bǔ)償、精微操作、MEMS技術(shù)、生物工程、細(xì)胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學(xué)調(diào)整、電化學(xué)加工等領(lǐng)域。

  主要特點(diǎn)：
  采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；
  納米級(jí)位移分辨率；
  重復(fù)定位高；
  優(yōu)良的頻率響應(yīng)特性；
  采用計(jì)算機(jī)有限元分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)動(dòng)結(jié)構(gòu)；
  可內(nèi)置電阻應(yīng)變片式微位移傳感器，方便實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；
  機(jī)體材料可選擇鋁合金、Invar合金等，適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)合；
  采用電火花、線切割等加工工藝，以嚴(yán)格加工；
  采用的表面處理工藝，了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力；
  運(yùn)動(dòng)自由度從一維到六維，行程10~400微米，形成多系列產(chǎn)品。