>> 產(chǎn)品特點(diǎn)
WB300采用高密度微波等離子技術(shù),用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理,微波等離子高度活性、高效,且不會(huì)對(duì)電子裝置產(chǎn)生離子損害。
微波等離子體系統(tǒng)是下列用途的理想方式:
等離子體表面改性
有機(jī)物表面等離子體清潔
邦定強(qiáng)度增強(qiáng)
等離子體刻蝕應(yīng)用
等離子體灰化應(yīng)用
增強(qiáng)或減弱浸潤(rùn)性
其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
◆ 等離子發(fā)生器(德國(guó))
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界品牌電器元件,性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)
英國(guó)愛(ài)德華斡旋式干泵 GV40
美國(guó)MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器
臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
◆ 充氣系統(tǒng)
美國(guó)MKS高電子質(zhì)量流量計(jì)(2路氣體配制)
美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件,德國(guó)雙級(jí)減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
等離子清洗機(jī) / 等離子刻蝕機(jī) / 等離子處理機(jī) / 等離子去膠機(jī) / 等離子表面處理機(jī)
等離子清洗-等離子處理-等離子刻蝕-等離子去膠-等離子活化- 等離子表面處理
GDR-PLASMA 山東戈德?tīng)柇h(huán)??萍加邢薰境闪⒂?995年,是從事真空及大氣等離子清洗機(jī)、等離子處理機(jī)、等離子刻蝕機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子灰化機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子表面處理設(shè)備,射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、推廣、銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè),隸屬于戈德?tīng)柕入x子科技(香港)控股有限公司,總部設(shè)于香港 。
山東戈德?tīng)枺鳛榈入x子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子刻蝕機(jī)/等離子表面處理機(jī)制造企業(yè),是ISO9001企業(yè),公司擁有的低壓、常壓等離子清洗及等離子表面處理技術(shù),并有完備的生產(chǎn)加工設(shè)備,可為客戶提供特殊定制服務(wù)及短交期,已成為國(guó)內(nèi)具規(guī)?;a(chǎn)能力的全系列等離子清洗機(jī)、等離子處理機(jī)及等離子表面處理設(shè)備公司。
等離子清洗機(jī)有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場(chǎng)合。通過(guò)其等離子表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。