適用于固定大小的玻璃,薄膜等產(chǎn)品;
可自行設定模板,指定測量軌跡;
可測量薄膜,玻璃等透明材質(zhì);
含2D/3D圖形化顯示測量結(jié)果;
可按照用戶要求,定制數(shù)據(jù)庫結(jié)構(gòu),用于保存測量結(jié)果;
可測量TTV,LTV,彎曲度;
純光學探頭,不受強磁干擾,無溫度散發(fā),可在真空中使用;
數(shù)據(jù)庫查詢具有條件選擇的查詢,可以選擇品名、品番、日期等篩選條件查詢;
支持按照客戶要求把測量結(jié)果導出到Excel表格當中;
TTV測量0.8um;
彎曲度6um;
測量產(chǎn)品面積300mm*300mm;
厚度測量范圍小7.5um,34000um,即3.4mm;
光斑大小1.8um-28um;
允許測量傾斜角±42.5度,測量厚度越大,允許傾斜角越小;
采樣頻率2000次/s;