1、標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸 單位:mm
規(guī)格00 250
直徑00 250
高度 25 30 40 45
平晶規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形,方形平面平晶可定做.
2、可制成兩種: 1級(jí) 和 2級(jí)
3、工作面的平面度偏差允許值為:
直徑為 30至60mm 1級(jí)平晶 0.03μm
直徑為 30至60mm 2級(jí)平晶 0.1 μm
直徑為 80至150mm 1級(jí)平晶 0.05μm
直徑為 80至150mm 2級(jí)平晶 0.1 μm
更大尺寸平晶平面度偏差允許值,根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)。
4、工作面的局部偏差允許值為: 0.03μm
5、測(cè)量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時(shí)后進(jìn)行。