深圳市邁昂科技有限公司
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SpecEl 橢偏儀
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測量。
集成的測量系統(tǒng)
SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達(dá)0.005%。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析，的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。
