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產(chǎn)品價(jià)格：
電議
產(chǎn)品型號(hào)：
AGS1000
供應(yīng)商等級(jí)：
免企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營模式：
貿(mào)易商
企業(yè)名稱：
北京微納通科技有限公司
所屬地區(qū)：
廣東省 深圳市
發(fā)布時(shí)間：
2014/7/3 17:52:10

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覃獻(xiàn)文先生(聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)

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ABL9000氣浮平臺(tái)
1世上性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合
2軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
±0.50um
重復(fù)定位±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50u

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