產(chǎn)品介紹:
MWR-2S-3I是一款功能異常強(qiáng)大的無接觸少子壽命及紅外探傷綜合測(cè)試儀，能夠?qū)尉Ч璋?、多晶硅塊及硅片提供快速、無接觸、傷、高分辨率的多功能掃描測(cè)試。一方面，其通過微波光電衰退特性原理來測(cè)量非平衡載流子壽命的；另一方面，通過近紅外對(duì)硅材料的光學(xué)特性，探測(cè)缺陷。并且單晶硅棒、多晶硅塊無須進(jìn)行處理。此設(shè)備是太陽能電池硅片企業(yè)、多晶鑄錠企業(yè)、拉晶企業(yè)得的測(cè)量?jī)x器。

產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 系統(tǒng)大，少子壽命及缺陷同時(shí)測(cè)量

■ 無接觸和傷測(cè)量

■ 自動(dòng)測(cè)量，具有傳送系統(tǒng)，可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量

■ 快速測(cè)量，測(cè)試掃描速度2000mm/min

■ 測(cè)試范圍廣：包括硅塊、硅棒、硅片等

■ 應(yīng)用于硅棒硅塊、硅片的進(jìn)廠、出廠檢查，生產(chǎn)工藝過程中屬沾污和缺陷的監(jiān)控等

■ ，地降低了企業(yè)的測(cè)試成本

■ 可以在線實(shí)時(shí)對(duì)產(chǎn)品監(jiān)控

推薦工作條件

■ 溫度：18-26℃
■ 濕度：10%~80%
■ 大氣壓：750±30毫米汞柱

技術(shù)指標(biāo)

■ 主機(jī)尺寸：63cm * 36cm *59cm

■ 測(cè)試尺寸:190mm*190mm*500mm

■ 測(cè)試掃描速度:2000mm/min

■ 電阻率范圍：>0.5Ω.cm

■ 硅棒硅塊掃描間距：≥1mm

■ 儀器測(cè)試：±3.5％，信號(hào)處理偏差≤2％

■ 少子壽命測(cè)試范圍:0.1μs-30ms

■ 少子檢測(cè)激光波長(zhǎng)：975nm,測(cè)試功率范圍：50-500mw

■ 紅外波長(zhǎng)：2300nm,測(cè)試功率范圍：50mw

■ 紅外探傷可分辨小尺寸：0.1mm

■ 微波工作頻率：10GHz±0.5

■ 微波測(cè)試單元功率：0.01W±10%

■ 電源：～220V  50Hz    功耗＜160W

■ 主機(jī)重量：32KG

典型客戶

德國(guó)，瑞士，美國(guó)，日本，俄羅斯及國(guó)內(nèi)河北，江西，江蘇，浙江，廣西，上海，遼寧等地拉晶鑄錠客戶。