1) 特性
² 測(cè)量模式分手動(dòng)和自動(dòng)模式,用戶(hù)可以自由選擇
² 簡(jiǎn)單的按鍵操作,任何人都可以快速正確測(cè)量出結(jié)果
² 測(cè)量分手動(dòng)、自動(dòng)和連續(xù)自動(dòng),用戶(hù)可任意選擇
² 在自動(dòng)模式中如果探針接觸測(cè)量樣片表面,測(cè)量結(jié)果就會(huì)在窗中顯示
² 電阻率測(cè)量時(shí),只要輸入校正系數(shù)(如厚度、探針間距、樣本大小)就會(huì)自動(dòng)計(jì)算,進(jìn)行測(cè)量。
² 可根據(jù)用戶(hù)要求定制(測(cè)量范圍、測(cè)量時(shí)間、探針張力、探針半徑、探針間距等)
² 可根據(jù)用戶(hù)選擇采用單和雙配置作為測(cè)量模式測(cè)量。采用雙配置測(cè)量均質(zhì)樣品時(shí),如果樣品的大小是探針間距的5的話(huà),具有與測(cè)量位置無(wú)關(guān),任何位置都可以測(cè)量出相同值的優(yōu)點(diǎn)。
² 測(cè)量直徑為300mm以下的樣品時(shí),在用戶(hù)要求的位置都可以測(cè)量
² 操作臺(tái)可上下、水平、旋轉(zhuǎn)移動(dòng)不需移動(dòng)樣品,任何位置都可以測(cè)量。
2) 規(guī)格
² 測(cè)量方式:?jiǎn)?/span>&雙配置法
² 測(cè)量范圍:4mΩ/sq.~1GΩ/sq.
² 測(cè)量分辨率:4½dis
² 測(cè)量準(zhǔn)確性:0.5%以下(在23℃)
² 針間距:1.00mm,1.59mm
² 針半徑:50μm~500μm(可根據(jù)所測(cè)量樣品選擇)
² 測(cè)量時(shí)間:1秒
² 電流:10nA~100mA
3) 應(yīng)用
這種類(lèi)型作為研究和開(kāi)發(fā)用的儀器,可以測(cè)量電阻,面電阻和電阻率,并且具有好精密性,重復(fù)性,性。