檢驗千分尺:
一、測量面的平行度及平面度采用光學平晶進行檢驗:
光學平面與絲桿測量面或測砧測量面貼合后,由于測量面的不平度,
使平晶與測量面之間存在空隙,從而產(chǎn)生干涉帶或干涉環(huán),在測量面的
垂直方向每條干涉帶或干涉環(huán)所代表的平面度誤差為0.3μm.
二、測量面的平行度誤差:
測量范圍上限至100mm的千分尺兩側量面的平行度采用絲桿螺距的1/3
或1/4的光學平行平晶來進行檢驗,依次將光學平行平晶入兩測量面間
轉動測力裝置。施加5-10N的力,使兩測量面出現(xiàn)的干涉環(huán)或干涉帶數(shù)目
減少至少.
測量范圍大于100mm的千分尺,測量面的平行度可用自準直儀進行檢
驗.
在距測量邊緣0.4mm范圍內的平行度忽略不計,
三、測量面的平面度誤差:
采用二級光學平晶檢驗,應調整光學平晶使測量面上干涉帶或干涉
環(huán)。
測量面不應出現(xiàn)兩條以上的相同顏色的干涉環(huán)或干涉帶(測量量面的
平面度,〈0.6μm)
在距測量面邊緣0.4mm范圍內的平面度忽略不計。