SET3/1064/532/355，SFT3：激光調(diào)阻機(jī)解決方案

產(chǎn)品特點(diǎn)：

--調(diào)阻高：的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和細(xì)線寬的激光束；四線制測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量時(shí)間為25us；擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補(bǔ)償功能；

--調(diào)阻速度快：的激光器擁有高的重復(fù)頻率，在光斑重疊率的情況下能擁有很度；德國(guó)掃描振鏡，掃描速度快；高分步重復(fù)機(jī)構(gòu)，空氣軸承，移動(dòng)速度及加速度快；

--性高：整機(jī)配置器件均采用原裝配置；采用花崗巖臺(tái)座，穩(wěn)定；

--大：擁有溫度實(shí)時(shí)補(bǔ)償功能；同時(shí)具有激光劃片和打標(biāo)功能；

--運(yùn)行及維護(hù)成本低廉：采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長(zhǎng)，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設(shè)備；操作簡(jiǎn)單，無須高額培訓(xùn)成本；

技術(shù)參數(shù)：

--激光器系統(tǒng)：

激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器

激光波長(zhǎng)：1064/532/355nm

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)

激光頻率：200Hz-50KHz

典型光斑尺寸：30μm

實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng)；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光小光斑達(dá)12μm

泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時(shí)

冷卻方式：風(fēng)冷

對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制

--激光束定位系統(tǒng)：

激光束運(yùn)動(dòng)范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）

點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)間：5ms（典型）

速度：7000mm/s

重復(fù)定位：2.5μm

激光束小步進(jìn)：0.76μm

--圖像系統(tǒng)：

方式：激光同軸

放大倍數(shù)：>100倍

圖像顯示屏：19寸液晶

--測(cè)量系統(tǒng)：

激勵(lì)方式：電流/電壓激勵(lì)

恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇

恒壓源：0~20V計(jì)算機(jī)程控選擇（可選其它電壓范圍）

電阻測(cè)量方式：四線制加電流測(cè)電壓

直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿程電壓）

調(diào)節(jié)對(duì)象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定

電阻測(cè)量：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     

中阻：<0.05%

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）

電阻測(cè)量范圍：0.01Ω-500MΩ

電阻測(cè)量速度：25μs

直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）

探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）

探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制

--計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)：

工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），17寸液晶

操作系統(tǒng)：Windows XP

VB平臺(tái)開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，大

--分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：

運(yùn)動(dòng)XY范圍：290x260mm

運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm

定位：小于6μm（帶誤差補(bǔ)償）

重復(fù)定位：小于3μm   

運(yùn)動(dòng)速度：900mm/s

具有溫度補(bǔ)償?shù)裙δ?/span>

--非接觸溫度測(cè)量：

溫度測(cè)量：0.2℃

調(diào)阻溫度修正：計(jì)算機(jī)程序控制

--其它技術(shù)指標(biāo)：

供電電壓：220V AC

整機(jī)功耗：小于1000W

應(yīng)用和市場(chǎng)：主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、科研、片式電阻等行業(yè)。

武漢三工光電設(shè)備制造有限公司，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售一體的化激光生產(chǎn)廠家

聯(lián)系人：曾先生（三工光電電子）

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