產(chǎn)品品牌：
PSI產(chǎn)品型號：
PSI-D
基本參數(shù)
詳細(xì)說明
普西工業(yè)提供手動探針臺針,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光電子、太陽能等領(lǐng)域 其產(chǎn)品包括： • 晶圓探針臺(Wafer Probe Station) • 射頻探針臺(RF Probe Station) • LCD/OLED大尺寸平板探針臺(LCD/OLED Probe Station) • 四探針臺（Four Point Probe Station,也稱：表面電阻探針臺） • 霍爾效應(yīng)探針臺（Hall effect measurement system） • 變溫探針臺（高溫探針臺、低溫探針臺） • 環(huán)境可控型探針臺等型號 • PSI晶圓探針臺： • 載物臺尺寸： 4英寸、6英寸、8英寸可供選擇 • 載物臺位移： 快速移動(PSI 150 / PSI 200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm 精密調(diào)整(PSI 150 / PSI 200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm • 樣品臺旋轉(zhuǎn)角： 0 ~ 30 度 （可選精密調(diào)整） • 載物臺上/下范圍： 10mm • 真空吸盤：不銹鋼（可選加熱吸盤） • 漏電流低于300fA • 顯微鏡臺位移： 25mm X 25mm • 顯微鏡放大倍率： 30-2000倍 （可由客戶指定） • 探針座數(shù)量：2-12個(可選) • 尺寸： ( W / D / H ) PSI 150 : 580mm X 700mm X 700mm PSI 200 : 660mm X 660mm X 700mm 同時我們可以根據(jù)您的具體需求提供比的客制化產(chǎn)品。 可選磁性和真空以及機(jī)械安裝式. XYZ移動范圍：12mm 分辨率可至 1um 注:要求可根據(jù)用戶要求定制 • 重量 (PSI150 /PSI200 ) : 60kg / 80kg 可選配件： 1）低電流、低電容探針/電纜 2）RF探針/電纜 3）不同工作距離和放大倍率光學(xué)顯微鏡 4）變溫探針臺 5）真空腔 6）環(huán)境腔 一： 型號PSI-D-J4 （一）系統(tǒng)結(jié)構(gòu)說明： • 簡述： 本探針系統(tǒng)可通過探針架及四軸平臺實現(xiàn)任意角度的調(diào)節(jié)，可擴(kuò)展，探針數(shù)可根據(jù)用戶需求定制完成； • 特點(diǎn): 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定； 擴(kuò)展 便于操控 適合在各種不同需求的研究領(lǐng)域中使用 （二）系統(tǒng)實物圖 （三）系統(tǒng)配置參數(shù)： 3.1 系統(tǒng)組成及組件：01.光學(xué)成像 02.視頻成像 03.觀測樣品移動部分 04.探針架 05.系統(tǒng)機(jī)械主體結(jié)構(gòu) 06.樣品夾具 07.測量軟件 3.2 技術(shù)說明及參數(shù)：| . | 結(jié)構(gòu)組成 | 數(shù)量（套） | 參數(shù)說明 | 功能說明 |
| 01 | 光學(xué)成像 【根據(jù)具體使用需求，可使用不同倍率光學(xué)鏡身做為成像主體，如：放大倍率視頻顯微系統(tǒng)、長工作距離變倍系統(tǒng)、激光微加工系統(tǒng)、高快速定位系統(tǒng)等 … 】 | 壹 | 立體顯微鏡 鏡筒： 45 °傾斜， 360 °旋轉(zhuǎn)；雙目觀察頭瞳距調(diào)節(jié)范圍： 54~75mm ；兩目鏡筒視度均可調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為± 5 屈光度； 標(biāo)準(zhǔn)的 C 接口可連接 CCD 成像設(shè)備； 目鏡：使用高眼點(diǎn)廣角目鏡，為佩帶眼鏡的觀察者提供方便 ； 物鏡： 0.7X~4.5X 的連續(xù)變倍物鏡，像面齊焦性；放大范圍：在 3.5X~180X 之間，連續(xù)變倍 ； 工作距離： 30mm~165mm ，長的工作距離，為使用者提供更大的工作空間 ； 光源：電照明系統(tǒng)種類多樣，內(nèi)置熒光燈、鹵素?zé)粽彰骱屯庵铆h(huán)形熒光燈、鹵素?zé)粽彰? | 通過光學(xué)成像原理，對所觀測樣品進(jìn)行光學(xué)放大，使其微觀觀察，為探針系統(tǒng)視覺部分提供成像 |
| 02 | 視頻成像 【根據(jù)需求選配 CCD 或 C-MOS 芯片】 | 壹 | CCD 成像設(shè)備 數(shù)字處理彩色頭 * 拾取設(shè)備： 1/3" IT CCD * 總像素： 811(H) × 508(V) (NTSC);795(H) × 596(V) (PAL) * 像素： 768(H) × 494(V) (NTSC); 752(H) × 582(V) (PAL) * 同步系統(tǒng)：內(nèi)部信號 * 視頻輸出： Composite × 1, Y/C × 1 * 水平分辨率： Composite:450TVL; Y/C:480TVL * 小照度： 0.1Lux at F1.2 * 信躁比： 50dB (AGC OFF) * 電子快門： E1-1(1/60~1/10000 秒 NTSC); E1-1(1/50~1/10000 秒 PAL); E1-2(1/100~1/10000 秒 ) * 白平衡：自動 / 預(yù)設(shè) * 鏡頭接口： C-Mount | 基于光學(xué)成像部分，通過數(shù)字傳感器將目鏡觀察的光學(xué)成像轉(zhuǎn)換成視頻成像到電腦或器上，可以減少目鏡觀察的視覺疲勞，使工作效率； |
| 03 | 觀測樣品移動部分 【平臺尺寸根據(jù)需求定制，可選：自動控制平移臺，可采用高伺服控制系統(tǒng)】 | 壹 | 四軸樣品移動臺 ( 手動 ) | 在通過 X 、 Y 、 Z 以及旋轉(zhuǎn)的四方向移動，為顯微觀察部分提供一個可觀察的環(huán)境； |
| 04 | 探針架 【可選多種探針架】 | 壹 | 實現(xiàn)顯微操作等功能 | 實現(xiàn)探針的 X 、 Y 、 Z 的三軸操作和仰角調(diào)節(jié)等功能。配合光學(xué)平臺使用，可實現(xiàn)各種角度的調(diào)節(jié)； |
| 05 | 系統(tǒng)機(jī)械主體結(jié)構(gòu) | 壹 | 05.1 600*800 光學(xué)平臺 05.2 顯微鏡支撐架 05.3 Z 軸調(diào)節(jié)裝置 調(diào)焦機(jī)構(gòu)：調(diào)焦手輪， Z 軸升降 05.4 探針架去撐配件 | 整個系統(tǒng)機(jī)械主體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，光學(xué)顯微鏡，四軸樣品移動臺等均安裝在上面 ; |
| 06 | 樣品夾具 | 壹 | 根據(jù)現(xiàn)場實驗需求定制完成 | 根據(jù)現(xiàn)場實驗需求定制完成 |
| 07 | 測量軟件 | Microscope Partner 測量軟件 | 1. 可動態(tài) / 靜態(tài)對顯微圖像進(jìn)行分析測量，操作快捷 2. 軟件包含了顯微測量、視頻處理、圖像處理三大功能模塊 3. 采用數(shù)字圖像處理算法，具有二維標(biāo)定功能，水平、垂直方向分別標(biāo)定，減小標(biāo)定誤差；標(biāo)定倍率標(biāo)識由用戶自己定義 4. 線、圓、矩形、多邊形、角度等測量工具，對圖像上兩點(diǎn)距離、線段長度、線距、圓半徑直徑、面積、角度、矩形、橢圓、折線、多邊形、點(diǎn)線、平行線距的等幾何參數(shù)進(jìn)行測量。圖像庫瀏覽、圖像標(biāo)注、文字操作、打印等功能實現(xiàn)；測量圖片可存為 bmp 、 jpg 格式；將檢測以 word 、 excel 的文檔格式進(jìn)行輸出。 | 軟件測量提供各種尺寸的測理結(jié)果，生成，方便存儲； |
