




石英玻璃管是用二氧化硅制造的特種工業(yè)技術(shù)玻璃,是一種優(yōu)良的基礎(chǔ)材料。石英管大致可分為以下幾種:透明石英管(外徑1.5mm--300mm)、濾紫外石英管、彩色石英管等。 石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結(jié)果。用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通信裝置、激光器,光學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室儀器、電學(xué)設(shè)備、設(shè)備和耐腐蝕的化學(xué)儀器、化工、電子、冶金、建材以及國等工業(yè),應(yīng)用十分廣泛。高純石英玻璃可制光導(dǎo)纖維。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,石英玻璃被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中。比如,直拉法把多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅;清洗時用的清洗槽;擴(kuò)散時用的擴(kuò)散管、刻槽舟;離子注入時用的鐘罩等等。


