產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 傳感器靈敏度高,有小的始動(dòng)流量 - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,了傳 - 感器的高計(jì)量 - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大 - 傳感器的點(diǎn)穩(wěn)定度高 - 全量程高穩(wěn)定性 - 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性 - 低功耗 - 低壓損 - 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù):
性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
量程比 |
≥100:1 |
|
精 度 |
&plun;(1.5+0.2FS) |
% |
重復(fù)性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
點(diǎn)輸出飄移 |
&plun;30 |
mV |
輸出飄移 |
&plun;0.12 |
%/oC |
響應(yīng)時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
|
輸出方式 |
線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
工作壓力 |
0.5 |
MPa |
工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
工作濕度 |
<95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露) |
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機(jī)械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
機(jī)械尺寸:

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