光學掃描振鏡系統(tǒng)主要用于激光精密標刻、激光快速成型、激光調阻、激光切割、激光鉆孔、激光刻線等。可帶載16mm、20mm標準入射光斑的各種波長的鏡片。
光學掃描振鏡系統(tǒng)技術參數(shù)（所指角度為機械角，參數(shù)測定均為一分鐘上電后）
1、伺服驅動板參數(shù)說明
1.1 電源電壓：&plun;24V&plun;10％（正負電壓值相等）
1.2 模擬信號輸入阻：100K&plun;1％Ω（單端輸入）
1.3 位置信號輸出阻：1K&plun;1％Ω
1.4 模擬位置信號輸入范圍：&plun;10V／&plun;5V（可選）
1.5 位置信號輸入比例系數(shù)：0.5V／°
1.6位置信號輸出比例系數(shù)：0.5V／°
1.7 工作溫度：25℃&plun;10℃
1.8 驅動板尺寸：96.9mm（L）＊71mm（W）＊37mm（H）
2.馬達的電氣與機械特性：
2.1 小步長階躍響應時間：0.7ms
2.2 線性度：99.9％，范圍&plun;20°
2.3 比例漂移：＜40PPM／℃
2.4 點漂移：＜10μRad.／℃
2.5 重復：＜8μRad.／℃
2.6 平均工作電流：1.8A
2.7 峰值電流：15A
2.8 掃描角度（機械角）：&plun;21°
2.9 工作溫度：25℃&plun;10℃
