B.主要技術(shù)指標(biāo):
1、測(cè)量原理: 觸針?lè)ā㈦姼袀鞲衅? 2、測(cè)量范圍:垂直20mm,水平100mm 3、測(cè)量:垂直0.3%,水平0.03% 4、垂直分辨力:0.25μm/4mm,1.25μm/20mm 5、水平分辨力:1μm 6、測(cè)量參數(shù):垂直距離,水平距離,兩直線夾角,圓弧半徑,倒角寬度,圓心-端面、圓心-圓心、直線交點(diǎn)-直線交點(diǎn)、點(diǎn)-直線距離 7、水平放大倍率:2,5,10,20,50,100,200,500 8、垂直放大倍率:10,20,50,100,200,500,1000,2000 9、驅(qū)動(dòng)速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s 10、返回速度:1.5mm/s 11、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性:1μm/任意40mm 12、立柱結(jié)構(gòu):滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng),快慢速機(jī)動(dòng)升降,自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)點(diǎn) 13、立柱垂直測(cè)量高度:240mm 14、工作底臺(tái):400×600mm大理石平臺(tái) 15、傳感器測(cè)桿長(zhǎng):150mm 16、測(cè)針長(zhǎng)度:22mm 17、針尖角度:11° 18、針尖半徑:25μm 19、測(cè)力:0.02-0.06N 20、傳感器滑行角度:上升角≤77 °,下降角≤88° |