聲學顯微鏡，學名是：掃描聲學顯微鏡Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM。它是基于聲波脈沖反射和原理工作的，只要聲波信號在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻（如遇到孔隙、氣泡等），就會發(fā)生反射。
SAM主要用于材料淺表層結構分析、材料力學性能的檢測、檢測等。
A、 雜質顆粒、夾雜物、沉淀物等
B、 裂紋
C、 分層缺陷、附著物以及其他夾雜物
D、 空洞、氣泡、空隙等
SAM與X-RAY的主要區(qū)別
| SAM | X-RAY |
成像模式 | 反射模式和穿透模式 | 穿透模式 |
原理 | 聲波脈沖反射和 | 基于材料密度的差異 |
材料的穿透性 | 密集和疏松的固體 | 金屬材料穿透較差 |
對空氣的敏感性 | 空氣能阻斷聲波傳輸，確定焊接層、粘接層、填充層、涂鍍層、結合層的完整是SAM的性能 | 對空氣不是敏感，裂紋虛焊等不能被觀測到 |
材料的性 | 使用于MHz聲波，不會產(chǎn)生氣穴， | 較長時間檢測，可能會產(chǎn)生損壞和隨機的電子錯誤 |
所得圖像 | 可以分層展現(xiàn)材料內(nèi)部一層一層的圖像 | 整個樣品厚度的一個合成圖像 |
儀器簡介：德國KSI-SAM
一、1990年，世界上個做出頻率過GHz的1990年，世界上個做出頻率過GHz的聲波掃描顯微鏡，到目前為
止，其他同類儀器公司只能做到200MHz 左右；
二，1991年，世界上個在聲波顯微鏡中做出GHz V(z), V(f)定量測量系統(tǒng)；
三，1996年，推出世界上臺數(shù)字聲波顯微鏡；
四，1998年，世界上個做出帶有球面透鏡的聲波換能器；
五，2002年，世界上個在聲波顯微鏡上實現(xiàn)材料阻測量；
六，2004年，世界上個在聲波顯微鏡掃描控制平臺中采用空氣墊懸浮線性馬達驅動的X-Y掃描系統(tǒng)；
七，2004年，世界上個實現(xiàn)聲波顯微鏡自動對焦系統(tǒng)，并受到保護；
八，2004年，世界上個實現(xiàn)多探頭同時掃描大件樣品的聲波顯微鏡系統(tǒng)，并受到保護。
