主要特點(diǎn)
　　
　　專為300mm晶圓和光罩檢測(cè)
　　利用更高的分辨率，對(duì)比度和CFI60光學(xué)系統(tǒng)
　　更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡
　　新光源和四次美好的照明，的光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)果
　　預(yù)中心的燈箱提供更高的亮度，同時(shí)消耗一半的電力，并減少熱致離焦
　　電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍
　　應(yīng)用
　　晶圓
　　液晶顯示器
　　是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的。作為金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其強(qiáng)性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)，可觀察較厚的標(biāo)本。
　　兩種機(jī)型可供選擇
　  L300N：Episcopic照明類型
　　樣品尺寸：300mm晶圓
　　階段行程：354　x302毫米
　　放大倍率范圍：15X-2000X（目鏡和目標(biāo)而定）
　　L300ND：/Episcopic照明類型
　　樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD）
　　階段行程：354　x302毫米（照明范圍：354　x268毫米）
　　放大倍率范圍：15X-2000X（目鏡和目標(biāo)而定）
　　
　　  觀察方法：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉、反射熒光
　　  （用于L300N/L300ND/L200ND）
　　
　　照明部  —  12W50W高亮度鹵素?zé)?
　　照明裝置
　　    內(nèi)置孔徑光闌
　　    內(nèi)置LWD聚光器
　　接口  Ux1，RS232C（用于Intensilight）x1
　　鏡筒  L2-TTA視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（視角0～30°）
　　  視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/0：100
　　  L2-TT2A視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（俯角0～30°）
　　  視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/20：80
　　  LV-T13正立三目鏡筒
　　  視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/0：100
　　目鏡  CFI目鏡
　　物鏡  CFI60系列物鏡
　　載物臺(tái)  14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm
　　  （觀察范圍：354mmx268mm）
　　  帶粗/微動(dòng)切換功能
　　  微動(dòng)手輪位置固定
　　靜電
　　功能  從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以內(nèi)
　　耗電  1.2A/90W
　　尺寸  約360（W）x581（H）x951（D）mm（傾斜角度為10°時(shí)）
　　備注：如需更詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系廣東省東莞市東榕實(shí)業(yè)有限公司（尼康中國(guó)特約代理商）