飛納臺式掃描電鏡能譜版
——智能、、能譜電鏡一體化
放大倍數(shù):20×-100,000×
分辨率:18nm
電子:1500小時CeB6燈絲
抽真空時間:10秒
加速電壓:5/10/15 kV 三檔
能譜儀EDS元素分析功能
拓展功能:3D粗糙度重建、纖維統(tǒng)計(jì)測量,拼圖等
Phenom ProX(飛納臺式掃描電鏡能譜版)是Phenom第三代產(chǎn)品,結(jié)合了表面成像功能和元素分析能譜EDS功能,能譜儀 EDS的可以準(zhǔn)確的進(jìn)行樣品表面元素的定性和定量分析。
電鏡能譜一體化設(shè)計(jì),簡潔小巧
Phenom ProX 的能譜儀EDS是針對臺式電鏡設(shè)計(jì)的,本著臺式電鏡簡單易用,售后的宗旨,Phenom ProX的能譜儀EDS 系統(tǒng)嵌入在電鏡主機(jī)中,利用半導(dǎo)體制冷,無需額外冷卻系統(tǒng)。下圖是傳統(tǒng)電鏡能譜儀系統(tǒng)與Phenom ProX的對比圖
帶能譜儀D的傳統(tǒng)電鏡
Phenom ProX
電鏡分辨率顯著
Phenom Pro 100000倍
Phenom ProX 100000倍
得到樣品表面形貌和元素含量
步:利用成像模式得到高分辨率的照片,背散射電子給出豐富的成份像,雜質(zhì)一目了然
第二步:如果需要分析元素含量,切換到成份分析模式,點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域,立刻給出定量定性分析元素名稱和含量分布
5kV,10kV,15kV 三檔加速電壓
Phenom ProX提供三檔加速電壓,用戶可根據(jù)樣品類型和測試目的,靈活切換
5kV:血液緣體直接觀測模式
適合對電子束敏感的樣品
10kV:電路板分辨率模式
適合大部分樣品
15kV:電路板元素分析模式
X射線特征譜線更明顯
表面形貌和成分信息同時展現(xiàn)
背散射電子的產(chǎn)率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關(guān)。Phenom(飛納)采用4分割半導(dǎo)體背散射電子探測器,為您提供兩種成像模式,模式之間可切換:
???成份模式:同時給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨
?形貌模式:去除成份信息,樣品表面凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰,適用于表面粗糙度和缺陷分析
成份模式
4分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相疊加
形貌模式
4分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相抵消
成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息
形貌模式圖像突出樣品表面形貌特征
直接觀看緣體,無需噴金
Phenom(飛納)采用低真空技術(shù),出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子,正離子與樣品表面累積的電子中和,抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生,直接觀測各種不導(dǎo)電樣品(如下圖所示)。
利用降低荷電效應(yīng)樣品杯,更可將開始荷電的放大倍數(shù)8倍左右,而且不會影響燈絲壽命,
操作簡便,導(dǎo)航
???自動/手動聚焦
Phenom(飛納)操作界面。通過點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口,方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進(jìn)行切換。