項(xiàng)目 / 型式 | SURFCOM C5 Te-C | SURFCOM C5 Te-S | |
量測(cè)范圍 | Z軸（縱方向） | 1000μm | |
X軸（橫方向） | 200mm | ||
移動(dòng)范圍 | Z軸（上下） | 500mm (分辨率：0.1μm) | |
X軸（驅(qū)動(dòng)部） | 200mm (分辨率：0.1μm) | ||
Y軸（前后） | 800mm (分辨率：0.1μm) | ||
Y軸（測(cè)頭驅(qū)動(dòng)部） | 30mm (分辨率：0.1μm) | ||
旋轉(zhuǎn)角度 (測(cè)頭) | 0°、90°、180°、270° | － | |
驅(qū)動(dòng)部真直度 | X軸：0.5μm/200mm、Y軸：0.5μm/30mm | ||
參數(shù) | Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq, TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2, Rδc,H,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,,SR,SAR | ||
顯示縱倍率 | 50～500K倍 | ||
顯示橫倍率 | 0.1～20K倍 | ||
驅(qū)動(dòng)速度 | 上下速度(Z軸) | Max 100mm/s | |
測(cè)量速度(X軸) | 0.03～3mm/s（粗度量測(cè)時(shí)）、0.03~20mm/s（形狀量測(cè)時(shí)） | ||
移動(dòng)速度(X軸) | Max 100mm/s | ||
移動(dòng)速度(Y軸) | Max 100mm/s | ||
測(cè)針 | 半徑 | 0.75mN | 10mN |
測(cè)定力 | 2μmR | 5μmR | |
材質(zhì) | 鉆石材質(zhì) | ||
其它 | 電源 | 單相AC100~230V±10﹪、50/60Hz | |
消費(fèi)電力 | 1000VA | ||
重量 | 2000kg | 1700kg | |
