采用高花崗巖底座、主柱,長期穩(wěn)定性;
組件采用品牌;
全鼠標(biāo)/搖軒自動化控制,簡單易用;
組合式照明配置,適應(yīng)各種物體尺寸的測量;
自動對焦,測量性;
自動對焦測高,可加配接觸式測針。
其他說明
型號 | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 | |
行程(mm) | 200* 100* 200 | 300* 200* 200 | 400* 300* 200 | 500* 400* 200 | |
外部尺寸(mm) | 1040X740X1620 | 1040X740X1620 | 1240X800X1620 | 1440X1000X1620 | |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
測量 | XY軸 | (2.5+L/200)µ m | |||
Z軸 | (5+L/200)µ m | ||||
CCD | 像素彩色CCD | ||||
光學(xué)系統(tǒng) | NITAR鏡頭,光學(xué)放大倍率:0.5x - 4x,總放大倍率:36x - 288x | ||||
光源 | 輪廓光 | LED方形光源,亮度可調(diào) | |||
表面光 | 多角度LED環(huán)形光源,亮度可調(diào) | ||||
光柵尺分辨率 | 0.5µ m | ||||
運動控制 | 多軸高運動控制卡 | ||||
軟件 | HIG析杰 | ||||
電源 | 220V/50Hz | ||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃&plun; 2℃,溫度變化< 2℃/hr,濕度40~80% | ||||
振動< 0.002g,低于15Hz |