主要特征:
橫梁與Z軸采用表面陽化航空鋁合金,溫度一致性;并降低了運動部件的質(zhì)量,減少測量機在運行時的慣性
三軸導(dǎo)軌均采用高自潔式空氣軸承,運動更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損
三軸均采用高歐洲光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達0.078um;同時采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機器重量的同時,消除了運動扭擺,了測量和穩(wěn)定性
各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動,運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確
X向采用精密三角梁技術(shù),相比矩形梁和橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比,運動更加。