108 manual是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
l 通過低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
l 操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)測定所鍍膜的厚度。
l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
l 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。