氣體質量流量控制器，即稱MFlowController（縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說，質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
　　
　　氣體質量流量控制器
　　標準量程（N2）：0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM；
　　0～1，2，3，5，10，20，30SLM
　　準：±1％F。S；重復：±0.2％F。S
　　響應時間：電特性＜10sec氣特性＜1～4sec
　　線性：±（0.5～1）％F。S工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
　　耐壓：3，10MPa；工作環(huán)境溫度：5～45℃
　　輸入輸出信號電壓：0～＋5.00V
　　電源：＋15V500mA，-15V500mA（輸入阻大于100K，輸出電流不大于3mA）
　　電連接器：D14pin
　　外形尺寸：130＊28＊121mm
　　重量：約1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok：Φ3、Φ6、Φ10、Φ1／4〞、Φ3／8〞
　　VCR接頭：Φ1／4〞、Φ3／8〞、Φ1／8〞