三維探針臺是海格威自動化設(shè)備有限公司自主生產(chǎn)的微型壓電線性馬達(dá)驅(qū)動的三維探針臺，該探針臺具有結(jié)構(gòu)緊湊、高、多功能、響應(yīng)及比的特點(diǎn)，是實(shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)檢測設(shè)備的選擇。該探針臺采用了模塊化設(shè)計(jì)的理念，可以十分方便地組合成各種探針檢測設(shè)備，旨在滿足各種諸如單切晶片、4''以下晶圓、LED 芯片、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。該三維探針臺配備專門的3軸霍爾控制元件，可在觀測的時(shí)候同時(shí)進(jìn)行靈活和精準(zhǔn)的操作。同時(shí)具備十分優(yōu)良的可擴(kuò)展性，可根據(jù)需要選配各種不同部件進(jìn)行功能上的升級。
　　應(yīng)用領(lǐng)域：
　　晶圓測試、射頻測試、LED 測試、高溫環(huán)境測試、功率器件測試、低溫真空測試、MEMS 測試、低電流（fA）測試、PCB 測試、I-V/c-V/p-IV 測試、液晶面板測試、高壓，大電流測試、太陽能電池片測試、氣體環(huán)境測試、材料表面電阻測試、強(qiáng)磁環(huán)境測試、納米器件測試、輻射環(huán)境測試
　　可選配件：
　　1、光柵閉環(huán)系統(tǒng)
　　2、不同規(guī)格探針
　　3、壓電精密 XY 軸樣品載物臺或手動XY 樣品載物臺
　　4、不同規(guī)格顯微觀察系統(tǒng)及顯微鏡萬向連接裝置
　　5、可定制不同規(guī)格尺寸安裝底座及連接底板
　　6、真空吸附型卡盤（不銹鋼、黃銅材質(zhì)可選）
　　7、積分球夾具
　　8、視頻 CCD 系統(tǒng)
　　9、封裝器件夾具
　　10、PCB 板夾具
　　11、樣品加熱系統(tǒng)
　　12、光學(xué)隔振平臺
　　13、屏蔽箱
　　14、強(qiáng)磁場及高真空度使用請直接咨詢廠商以獲得更加詳細(xì)的信息