功能調(diào)系列調(diào)阻機(jī)
設(shè)備特點(diǎn)
?定制化：可針對客戶產(chǎn)品不同的激光調(diào)阻應(yīng)用要求，提供具有較高價(jià)值的產(chǎn)品解決方案。
?調(diào)阻高：的測控技術(shù)，測量控制系統(tǒng)的一致性好，產(chǎn)品附加值；成品率高，單位成本下降。
?軟件可編程：可輕松實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求以及高自動化運(yùn)行，也可作為專門的測試平臺，適應(yīng)性廣。
?使用成本低：采用了的激光器，無耗材，使用成本，長期使用節(jié)約大量的費(fèi)用。
?多功能：可實(shí)現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo)，減少設(shè)備的再投入。
?大理石基座，可減小工作臺啟動、停止和加速過程中產(chǎn)生的震動，同時(shí)保持機(jī)臺溫度的穩(wěn)定性，性高。
主要技術(shù)參數(shù)
激光系統(tǒng) | 型號規(guī)格 | LT |
激光波長 | 1064nm | |
激光功率 | 10W | |
典型光斑尺寸 | 35±5μm | |
對焦方式 | 自動，計(jì)算機(jī)程序控制 | |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
激光束定位系統(tǒng) | 激光束運(yùn)動范圍 | 60mm X 60mm |
運(yùn)動分辨率 | 0.76μm | |
重復(fù)定位 | ±5μm | |
分步重復(fù)運(yùn)動系統(tǒng) | 運(yùn)動方式 | 精密閉環(huán)XY平臺 |
運(yùn)動范圍 | 300mm*300mm | |
重復(fù)定位 | ±10μm | |
運(yùn)動速度（空載） | 180mm/s | |
測量系統(tǒng) | 電阻測量方式 | 四線制測量或二線制測量 |
電阻測量 | 中阻0.05% | |
電阻測量范圍 | 0.1Ω-100MΩ | |
測量速度 | 25μs/次 | |
點(diǎn)及滿程誤差校正 | 自動校正 | |
探針定義 | 可編程任意設(shè)定 | |
探針板運(yùn)動 | 自動，計(jì)算機(jī)程序控制 |
