微氧分析儀為檢驗(yàn)高純度制程氣體中的微量含氧，以制程氣體的純度，避免管路泄漏破損滲入大氣中的氧氣破壞制程品質(zhì)，增進(jìn)制程良率，并依各制程對(duì)制程氣體管路含氧量之要求，進(jìn)行要之測(cè)試設(shè)備。
使用氣體感測(cè)技術(shù)燃料電池式微量氧
感測(cè)元件，具準(zhǔn)確度高及反應(yīng)速度快，不需
保養(yǎng)等特性。
. 適用于氮?dú)?、氫氣、氬氣等還原性氣體中微量氧
的偵測(cè)。
. 采用4.3”TFT大螢?zāi)伙@示，可同時(shí)顯示含氧量、
日期、時(shí)間等參數(shù)。
. 于全量程范圍內(nèi)可任意設(shè)置警報(bào)點(diǎn)上、下限。
. 自動(dòng)記錄間的氧濃度變化曲線。
. 輸出4~20mA標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)；標(biāo)準(zhǔn)RS485/RS232(選用)
通訊口，可連結(jié)RJ45網(wǎng)路、Bluetooth、MicroSD
及U與電腦雙向通訊。
使用氣體感測(cè)技術(shù)燃料電池式微量氧
感測(cè)元件，具準(zhǔn)確度高及反應(yīng)速度快，不需
保養(yǎng)等特性。
. 適用于氮?dú)?、氫氣、氬氣等還原性氣體中微量氧
的偵測(cè)。
. 采用4.3”TFT大螢?zāi)伙@示，可同時(shí)顯示含氧量、
日期、時(shí)間等參數(shù)。
. 于全量程范圍內(nèi)可任意設(shè)置警報(bào)點(diǎn)上、下限。
. 自動(dòng)記錄間的氧濃度變化曲線。
. 輸出4~20mA標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)；標(biāo)準(zhǔn)RS485/RS232(選用)
通訊口，可連結(jié)RJ45網(wǎng)路、Bluetooth、MicroSD
及U與電腦雙向通訊。
