主動電控氣動隔振提供6個(gè)自由度的控制，垂直和水平兩個(gè)平面都有出色的水平，的實(shí)時(shí)控制。代理德國BILZ隔振產(chǎn)品AISTM，由一個(gè)PLC.CAN總線，16位控制器，電控伺服閥和空氣彈簧以及HAB水平空氣彈簧組成。16位控制器可以直接安裝到空氣彈簧或儀器上，通過微處理器、傳感器、加速傳感器、壓力傳感器的信號以4KHz速率進(jìn)行采樣，所以對振動的實(shí)時(shí)控制。
應(yīng)用范圍：適用于被動隔振不能夠滿足的高動態(tài)振動實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
提供非晶體硅太陽能電池及平板顯示器設(shè)備、精密刻線設(shè)備和三坐標(biāo)測量儀的隔振方案。
應(yīng)用范圍：適用于被動隔振不能夠滿足的高動態(tài)振動實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
提供非晶體硅太陽能電池及平板顯示器設(shè)備、精密刻線設(shè)備和三坐標(biāo)測量儀的隔振方案。
